一种用于芯片生产制造的打磨装置
基本信息
| 申请号 | CN202022591362.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213615761U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213615761U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | B24B9/06;B24B55/06;B24B41/06;H01L21/67;B01D29/03 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王飞;罗志云;潘梦瑜 | 申请（专利权）人 | 恒泰柯半导体（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海宏京知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周高 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区盛夏路560号902C-7室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于芯片生产制造的打磨装置，特别是涉及芯片生产制造技术领域，支撑臂上部嵌入安装有抽风机，抽风机右端相接有抽管，抽管右端上侧相接有抽气罩一。将芯片放入固定夹板上，随后转动旋钮，使得活动夹板往下移动，这样通过活动夹板与固定夹板的配合，便于夹持芯片；夹持好芯片，通过磨轮进行打磨时，利用抽气罩一和抽气罩二，可以进行两个方向吸入塑料废渣，这样避免出现遗漏塑料废渣的现象，而且吸入的塑料废渣会排入收集箱内，随后遇到喷淋头喷出的水，可以避免一些塑料废渣回流出收集箱，解决了目前用于芯片生产制造的打磨装置，在打磨芯片边角的时候，产生的塑料废渣清理较为不便，导致增加了工作人员工作量的问题。 |
