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功率晶体管表面钝化装置

基本信息

申请号	CN201711059707.X	申请日	-
公开（公告）号	CN107887304B	公开（公告）日	2019-09-03
申请公布号	CN107887304B	申请公布日	2019-09-03
分类号	H01L21/67	分类	基本电气元件;
发明人	魏广乾	申请（专利权）人	重庆凯西驿电子科技有限公司
代理机构	重庆强大凯创专利代理事务所（普通合伙）	代理人	重庆凯西驿电子科技有限公司
地址	401147 重庆市渝北区龙溪街道红黄路228号1幢23-3
法律状态	-

摘要

本申请涉及晶体管加工领域，具体公开了一种功率晶体管表面钝化装置，其包括反应管、套设于反应管外的外管和设于反应管和外管之间的中管；反应管和外管之间为除尘腔；反应管和中管之间为除尘通道，除尘通道中部的横截面收缩，除尘通道的上端与除尘腔连通；中管的下端封口，反应管的上下两端均开口，中管与反应管转动连接，反应管的下端与除尘通道的下端连通，中管下端的内壁上固定有导流扇叶，导流扇叶位于反应管下端面上方，反应管上设有与除尘通道中部连通的除尘孔，反应管内设有与反应管固定并位于除尘孔下方的托盘；反应管的顶部设有盖体，盖体上设有与NH3气源连通的进气孔，反应管外周缠绕有感应线圈。该装置可在反应管内对台面管进行除尘。