石墨烯芯片加工用装置
基本信息
| 申请号 | CN201711365660.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108212876B | 公开（公告）日 | 2018-06-29 |
| 申请公布号 | CN108212876B | 申请公布日 | 2018-06-29 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 魏广乾 | 申请（专利权）人 | 重庆凯西驿电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 重庆强大凯创专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 重庆凯西驿电子科技有限公司 |
| 地址 | 401147重庆市渝北区龙溪街道红黄路228号1幢23-3 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种石墨烯芯片加工用装置，包括机架，机架上自上而下依次设置有活塞板、筒体、由电机带动的齿轮、固定在机架上的螺母、出气通道、储液腔以及弹性的清洗管，其中活塞板固定在机架上，活塞板与筒体之间滑动密封，筒体自上而下依次设置有与齿轮花键连接的花键段、进气单向阀、螺纹段以及出气单向阀，其中筒体通过螺纹段与螺母之间构成螺纹副，出气单向阀与出气通道之间连通，齿轮转动连接在机架上，出气通道呈两端大中间小的哑铃状，而储液腔与出气通道的中间部分连通，传送带经过清洗管下方。本发明解决了现有技术中硅锭清洗工艺过于复杂的问题。 |
