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石墨烯芯片加工用装置

基本信息

申请号 CN201711365660.X 申请日 -
公开（公告）号 CN108212876A 公开（公告）日 2018-06-29
申请公布号 CN108212876A 申请公布日 2018-06-29
分类号 B08B3/02 分类 清洁;
发明人 魏广乾 申请（专利权）人 重庆凯西驿电子科技有限公司
代理机构 重庆强大凯创专利代理事务所（普通合伙） 代理人 重庆凯西驿电子科技有限公司
地址 401147 重庆市渝北区龙溪街道红黄路228号1幢23-3
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种石墨烯芯片加工用装置，包括机架，机架上自上而下依次设置有活塞板、筒体、由电机带动的齿轮、固定在机架上的螺母、出气通道、储液腔以及弹性的清洗管，其中活塞板固定在机架上，活塞板与筒体之间滑动密封，筒体自上而下依次设置有与齿轮花键连接的花键段、进气单向阀、螺纹段以及出气单向阀，其中筒体通过螺纹段与螺母之间构成螺纹副，出气单向阀与出气通道之间连通，齿轮转动连接在机架上，出气通道呈两端大中间小的哑铃状，而储液腔与出气通道的中间部分连通，传送带经过清洗管下方。本发明解决了现有技术中硅锭清洗工艺过于复杂的问题。