平移式密闭容器真空度检测系统
基本信息
申请号 | CN201810681743.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108663162B | 公开(公告)日 | 2021-04-16 |
申请公布号 | CN108663162B | 申请公布日 | 2021-04-16 |
分类号 | G01L21/30(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张国基;张希兰 | 申请(专利权)人 | 浙江蓝天知识产权运营管理有限公司 |
代理机构 | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 | 代理人 | 周志涛 |
地址 | 318050浙江省台州市路桥区金水路10-12号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种平移式密闭容器真空度检测系统,包括:工作台,所述工作台中部设有可平移的载物台,所述载物台两侧设有至少一对平行的电极;所述电极具有施加在表面的高频电场,以诱导待测密闭容器内产生辉光放电;所述工作台上还设有信号检测分析器,所述信号检测器能捕获待测密闭容器移动在电极中间产生的辉光放电信号。将各密闭容器在平移的载物台上移动,当移动到电极中间时,产生辉光放电,而信号检测分析器分析出该容器的真空度,并记录到系统中,能够实现流水线的密闭容器真空度的检测。 |
