一种高介电常数电极箔的制备方法

基本信息

申请号 CN202210047048.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114446667A 公开(公告)日 2022-05-06
申请公布号 CN114446667A 申请公布日 2022-05-06
分类号 H01G9/055(2006.01)I;H01G9/00(2006.01)I;H01G13/04(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王建中;何桂丽;金学军;王贵州;肖飞;宋双喜;龚煜 申请(专利权)人 南通海一电子有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 王素琴
地址 226000江苏省南通市通州区平潮镇通扬南路518号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及电容器制造技术领域,公开了一种高介电常数电极箔的制备方法,包括以下步骤:将腐蚀箔浸泡在氟钛酸铵的水溶液中,通过浸泡过程中的参数调控,在腐蚀箔表面生成一层厚度≤1.0 nm的二氧化钛氧化层,通过预化成在其上形成一层薄的三氧化二铝层,再浸泡在氟钛酸铵的水溶液中,生成新的二氧化钛氧化层。该方法获得的复合膜层既有效提升了复合膜中二氧化钛的含量,又不会因为结晶颗粒过大而导致漏电流增大。相比于一般化成工艺,利用本发明公开方法制备的高介电常数铝电极箔容量提升为15~30%。