一种空间用柔性砷化镓太阳电池制备方法

基本信息

申请号 CN202011450238.6 申请日 -
公开(公告)号 CN112531077A 公开(公告)日 2021-03-19
申请公布号 CN112531077A 申请公布日 2021-03-19
分类号 H01L31/0687(2012.01)I;H01L31/0693(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 铁剑锐;李晓东;肖志斌;杜永超;许军;孙希鹏;梁存宝;王鑫 申请(专利权)人 天津恒电空间电源有限公司
代理机构 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 栾志超
地址 300384天津市滨海新区滨海高新技术产业开发区华科七路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种空间用柔性砷化镓太阳电池制备方法,包括:在外延片背面蒸镀下电极,在受光面光刻出开槽区域,在绝缘区域上制备绝缘层,光刻出上下电极焊点,蒸镀上电极;再蒸镀减反射膜,光刻出焊点区域,去除焊点区域的减反射膜,最终划片得到空间用柔性砷化镓太阳电池。本发明的有益效果是有效的解决柔性砷化镓太阳电池在焊接时会出现短路问题,若焊接工艺采用地面常用的导电胶粘接工艺,电池焊接的可靠性又远低于阻熔焊的问题。