一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法

基本信息

申请号 CN201510467069.X 申请日 -
公开(公告)号 CN105036141B 公开(公告)日 2017-11-10
申请公布号 CN105036141B 申请公布日 2017-11-10
分类号 C01B33/12(2006.01)I;C01B7/01(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 分类 无机化学;
发明人 黄兵;宋东明;陈樑;罗平;李银光;沈宗喜;章江洪;马启坤;宋良杰;徐灵通;张雯雯;丁炳恒;梁景坤;王光跃;和雪飙;梁永坤;邓亮;王岭;董森林;赵义 申请(专利权)人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 650093 云南省昆明市五华区学府路253号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法,属于多晶硅行业氯硅烷废气资源化领域。本发明所述方法以氯硅烷废气与水蒸汽发生反应,反应产物经气固分离获得纳米二氧化硅,气固分离出来的气体经过冷却,绝大部分水蒸汽冷凝下来,并吸收了部分氯化氢,经过气液分离后,剩余气体通过盐酸和工业水的淋洗,获得高浓度盐酸。本发明以水蒸汽与氯硅烷废气发生气汽水解反应,可以获得纳米二氧化硅,用工业水和盐酸淋洗气固分离尾气,获得浓盐酸。本发明主要以水蒸汽作为混合氯硅烷废气水解反应物,高浓度盐酸作为吸收剂,减少杂质元素带入,保证二氧化硅和浓盐酸的质量,本发明既实现了氯硅烷废气的无害化处置,又实现了废气中硅和氯元素的资源化。