测量待测气体中磷化氢含量的方法
基本信息
| 申请号 | CN201610351302.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106066322A | 公开（公告）日 | 2016-11-02 |
| 申请公布号 | CN106066322A | 申请公布日 | 2016-11-02 |
| 分类号 | G01N21/71(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 毛智慧;张云晖;亢若谷;金波;钱津旺;李晓华;韩小叶;郭秀红;卢华;曾娟 | 申请（专利权）人 | 云南冶金云芯硅材股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 昆明冶研新材料股份有限公司;云南冶金云芯硅材股份有限公司 |
| 地址 | 655011 云南省昆明市曲靖经济技术开发区三江大道9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了测量待测气体中磷化氢含量的方法。该方法包括：采集预定体积的待测气体，并利用磷化氢吸收液吸收所述待测气体中的磷化氢，以便得到吸收后液；以及利用ICP?AES仪检测对所述吸收后液进行光谱检测，基于所述光谱检测结果确定所述气体中磷化氢的含量。该方法利用磷化氢吸收液吸收富集待测气体中的磷化氢，再利用高精度的ICP?AES仪检测富集了磷化氢的吸收后液中的磷元素的浓度，从而得到待测气体中磷化氢的含量。相对于现有的不经富集直接利用分析仪器检测气体中磷化氢的方法，该方法的准确性和精密度显著提高，可用于检测含低浓度磷化氢气体的磷含量。 |
