一种多晶硅棒空间倾角激光测量装置

基本信息

申请号 CN201720010873.X 申请日 -
公开(公告)号 CN206339206U 公开(公告)日 2017-07-18
申请公布号 CN206339206U 申请公布日 2017-07-18
分类号 G01B11/26 分类 测量;测试;
发明人 白荣林;徐灵通;严曜晖;曲宴良;顾国宝;张斌;阮红坤;李鸿祥;杨文涛;宁涓;张军;张平;宋奎 申请(专利权)人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理机构 昆明知道专利事务所(特殊普通合伙企业) 代理人 昆明冶研新材料股份有限公司;云南众诚士德柔性自动化设备有限公司;云南冶金云芯硅材股份有限公司
地址 655051 云南省曲靖市经济技术开发区三江大道
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅棒空间倾角激光测量装置,包括底部竖直铰接于摆动机构上部的支架,固定设置于支架上部且与铰接部旋转中心的垂直线水平对称的激光测距仪Ⅰ、激光测距仪Ⅱ,固定设置于支架下部且与激光测距仪Ⅰ或激光测距仪Ⅱ中心连线与过铰接部旋转中心垂直线平行的激光测距仪Ⅲ,摆动机构与移动机构固定连接,移动机构设置于底座并沿支架的摆动方向相对底座水平移动,激光测距仪Ⅰ、激光测距仪Ⅱ及激光测距仪Ⅲ与控制装置电连接,控制装置用于将激光测距仪Ⅰ、激光测距仪Ⅱ和激光测距仪Ⅲ的测量信号转化为多晶硅棒空间倾角值并输出。本实用新型具有结构简单、环境适应能力强、测量速度快且精度高、成本低的特点。