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显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法

基本信息

申请号 CN201910812296.X 申请日 -
公开（公告）号 CN110411717B 公开（公告）日 2021-06-18
申请公布号 CN110411717B 申请公布日 2021-06-18
分类号 G01M11/02 分类 测量；测试;
发明人 肖顺东;覃亚 申请（专利权）人 广东北创光电科技股份有限公司
代理机构 北京商专永信知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 高之波;赵春正
地址 528000 广东省佛山市禅城区季华一路28号四座1001房之一
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法。自动分析仪包括载物台、光路系统、光谱分析系统以及对焦装置，所述对焦装置包括手动微调机构、自动对焦机构以及控制系统，所述载物台设于对焦装置的驱动端，所述控制系统内组件有数据库，所述控制系统与光谱分析系统数据连接，对焦装置配置为根据光路系统的实时数据与样本数据的相对差值对实现自动对焦。本发明提供一种显微球面光谱自动分析仪，其能够对被测镜片实现自动对焦、自动分析功能。本发明能够根据样品的光斑成像情况实时的进行自动聚焦，减小了光谱信号波动；聚焦过程自动完成，无需专业人员参与，提高光谱分析的操作效率，降低光谱分析的操作门槛。