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一种检测机械臂刮伤的方法

基本信息

申请号	CN202111547662.7	申请日	-
公开（公告）号	CN114193451A	公开（公告）日	2022-03-18
申请公布号	CN114193451A	申请公布日	2022-03-18
分类号	B25J9/16（2006.01）I	分类	手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人	胡海天;连仲渊	申请（专利权）人	上海华虹宏力半导体制造有限公司
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	周耀君
地址	201203上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号
法律状态	-

摘要

一种检测机械臂刮伤的方法，包括：以晶圆圆心为坐标原点，读取缺陷图谱上的所有缺陷点坐标信息；剔除离群缺陷点；对剩余缺陷点进行函数拟合，获得拟合函数；计算拟合函数与晶圆圆心之间的距离L，则宽度2L视为产生刮伤的机械臂之宽度尺寸；将宽度2L与机械臂之宽度尺寸的数据集进行比对，定位与拟合尺寸2L最接近的机械臂为产生刮伤的机械臂。本发明通过对缺陷图谱之缺陷点的离群缺陷点剔除后对剩余缺陷点进行函数拟合，计算拟合函数与晶圆圆心之间的距离L，并2L将视为产生刮伤的机械臂尺寸，再将宽度2L与机械臂尺寸的数据集进行比对，差值最小的机械臂则被定位为产生刮伤的机械臂，不仅高效、准确，而且及时避免晶圆损失，提高产品质量，值得业界推广使用。