覆晶式LED芯片的制作方法
基本信息
申请号 | CN201410065683.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103794689A | 公开(公告)日 | 2014-05-14 |
申请公布号 | CN103794689A | 申请公布日 | 2014-05-14 |
分类号 | H01L33/00(2010.01)I;H01L33/44(2010.01)I;H01L33/38(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 庞晓东;王瑞庆;刘镇;陈浩明 | 申请(专利权)人 | 深圳市兆明芯科技控股有限公司 |
代理机构 | 深圳市博锐专利事务所 | 代理人 | 张明 |
地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道阳光社区沙坑路伟豪工业园2栋厂房501-2(仅限办公) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种覆晶式LED芯片的制作方法,包含步骤:在衬底上层叠第一导电型半导体层、发光层和第二导电型半导体层;形成第一电极孔;在第二导电型半导体层的正面覆盖导电层,并蚀刻第一电极孔的延伸部;在导电层的正面覆盖反射层,并蚀刻第一电极孔的延伸部;蚀刻反射层,形成多个第二电极孔,第二电极孔围绕第一电极孔的周围均匀分布;成型第一电极和第二电极;在发射层的正面成型第一导电层;在第一导电层的正面成型隔离层;在隔离层上蚀刻第一导电孔和第二导电孔,并在孔中成型导电金属电极;在隔离层的正面成型第二导电层。其有益效果是:保证LED芯片发光的均匀,同时有效防止LED芯片漏电,显著提高产品良率。 |
