一种碲化锌粉末及其靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110916079.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113416074A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113416074A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | C04B35/515（2006.01）I;C04B35/626（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 文崇斌;王英洁;朱刘;童培云 | 申请（专利权）人 | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 夏菁 |
| 地址 | 511500广东省清远市清新区禾云镇工业区（鱼坝公路旁） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种碲化锌粉末的制备方法，包括以下步骤：将碲和锌分别置于气相沉积装置的加热区，使碲和锌不接触；对碲和锌分别进行加热，使二者进行气相反应，得到碲化锌粉末；具体的：对碲进行加热，控制温度从室温升温至1000～1050℃，升温时间70～100min；同时对锌进行加热，控制温度从室温升温至950～1000℃，升温时间70～100min。本发明通过气相反应直接制备得到了碲化锌粉末，其具有较高的纯度，可直接用于碲化锌靶材制备，得到的靶材相对密度大于98％，游离锌和游离碲小于200ppm。 |
