一种靶材制备电动辅助装置
基本信息
| 申请号 | CN202110950186.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113463047A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113463047A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 温振杰;谭继军;陈志杰 | 申请（专利权）人 | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;管莹 |
| 地址 | 511517广东省清远市清新区禾云镇工业区（鱼坝公路旁） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及旋转靶材制备技术领域，公开了一种靶材制备电动辅助装置，其包括机架以及设于机架上的直线导轨和安装座，直线导轨竖直设置，直线导轨上设有可沿其滑动的滑块，安装座包括顶座和底座，其中顶座与滑块固定连接，顶座上设有插拔气缸，底座上则设有与插拔气缸的输出轴相连接的推拉杆，底座上还设有旋转电机和旋转盘，旋转电机与旋转盘传动连接，旋转盘上设有四根竖直设置的插杆。与现有技术相比，该靶材制备电动辅助装置能够代替人工实现插杆的转动和上下运动，结构简单可靠、易于操作；插杆的转动与上下运动均受到控制，与人工操作相比施工精度更高，避免了插杆剐蹭模具内壁，提升了产品的合格率。 |
