一种碲化锌掺锌平面靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110913324.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113402276A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113402276A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | C04B35/515（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/30（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 周荣艳;吴彩红;文崇斌;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人 | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张雪娇 |
| 地址 | 511500广东省清远市清新区禾云镇工业区（鱼坝公路旁） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种碲化锌掺锌平面靶材的制备方法，包括：S1）混料：将碲化锌粉体、锌单质粉体与碲单质粉体混合，得到混合物料；S2）烧结：将所述混合物料加热烧结，得到烧结物料；S3）球磨：将所述烧结物料进行球磨，得到球磨物料；S4）预压：将所述球磨物料进行预压，得到成型坯体；S5）热压：将所述成型坯体进行真空热压烧结，得到碲化锌掺锌平面靶材。与现有技术相比，本发明在碲化锌中掺锌以及掺碲可以使原本的碲化锌靶材的导电性得到改善，使制得的靶材纯度和密度均较高且可以提高靶材溅射的电导率，并且该制备方法工艺简单，对设备要求较低，成本较低，可批量生产。 |
