一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法
基本信息
| 申请号 | CN201410381423.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105319225B | 公开（公告）日 | 2019-06-07 |
| 申请公布号 | CN105319225B | 申请公布日 | 2019-06-07 |
| 分类号 | G01N23/046（2018.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王雅霄; 魏存峰; 刘宝东; 舒岩峰; 阙介民; 王燕芳; 孟凡辉; 周俊光; 袁路路; 邵雨濛; 王哲; 李卓昕; 申善威; 魏龙 | 申请（专利权）人 | 锐影检测科技（济南）有限公司 |
| 代理机构 | 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 地址 | 100049 北京市石景山区玉泉路19号乙多学科大楼1113 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法。本方法包括步骤：输入参数，调整并确认拼接子图像的数目及方式，数据采集过程，数据拼接，输出结果等。采用在高放大比条件下对板状样品分块扫描采集投影数据，利用正方形“田字格”或六边形“蜂窝状”方式进行图像拼接的方法，最终得到大面积板状样品的高分辨率大视野断层图像。 |
