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一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法

基本信息

申请号 CN201310136499.4 申请日 -
公开（公告）号 CN103196929A 公开（公告）日 2013-07-10
申请公布号 CN103196929A 申请公布日 2013-07-10
分类号 G01N23/04(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 王雅霄;魏存峰;舒岩峰;阙介民;孙翠丽;王哲;曹大泉;孟凡辉 申请（专利权）人 锐影检测科技（济南）有限公司
代理机构 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人 中国科学院高能物理研究所
地址 100049 北京市石景山区玉泉路19号乙多学科大楼1113
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法。X射线源位于所述装置的最底端，用于向上发射锥束X射线；载物台设置在所述X射线源的上方，在空间三维方向上作平移运动；载物台的正上方设置有所述固定架，固定架与所述转臂相连，使所述转臂做圆周旋转运动；所述转臂上设置有导轨，平板探测器位于该导轨上，利用该导轨在所述转臂上滑动；且平板探测器结合其在转臂上的滑动以及转臂的圆周旋转运动，定位于所形成半球面的任意位置。该扫描装置灵活多变，能够在多种扫描倾角、360度旋转角、以及多种放大比条件下对板状构件样品进行断层成像，并最大限度的简化系统的机械运动复杂度，提高系统性能。