一种CL系统的扫描装置及方法

基本信息

申请号 CN201410555446.0 申请日 -
公开(公告)号 CN105510361B 公开(公告)日 2019-01-15
申请公布号 CN105510361B 申请公布日 2019-01-15
分类号 G01N23/046(2018.01)I 分类 测量;测试;
发明人 邵雨濛; 魏龙; 魏存峰; 王燕芳; 阙介民; 刘宝东; 王雅霄; 袁路路; 周俊光; 孟凡辉 申请(专利权)人 锐影检测科技(济南)有限公司
代理机构 北京律智知识产权代理有限公司 代理人 中国科学院高能物理研究所
地址 100049 北京市石景山区玉泉路19号乙多学科大楼1113
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种CL系统的扫描装置及方法。所述扫描装置包括:支架、机械臂、X射线源、探测器、承载架、载物台;所述机械臂通过枢接轴与所述支架枢接,所述X射线源和所述探测器分别安装于所述机械臂的第一、第二安装座;所述承载架固定安装于所述支架上,所述载物台安装于所述承载架上,所述载物台上具有样本固定位置,所述承载架及所述载物台位于所述机械臂的第一安装座和第二安装座之间;相对于所述支架,所述机械臂能定位于多个角度上,且所述X射线源与所述探测器及承载架保持对齐,扫描时所述机械臂摆动可以实现多种模式下的检测方式。