一种真空镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201720841356.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207072967U | 公开（公告）日 | 2018-03-06 |
| 申请公布号 | CN207072967U | 申请公布日 | 2018-03-06 |
| 分类号 | C23C14/46 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘远能;张震 | 申请（专利权）人 | 浙江优尼特新能源有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永鼎律师事务所 | 代理人 | 浙江优尼特新能源有限公司 |
| 地址 | 312400 浙江省绍兴市嵊州市经济开发区浦慧路8号浙江优尼特新能源有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空室、第一镀膜锅、第二镀膜锅和离子束发生器，所述真空室的一侧连接有控制面板，所述真空室的底部卡接有底座，所述底座的底端固定卡接有支撑脚，所述真空室的内部底端设有第一镀膜锅，所述第一镀膜锅的底端一侧设有缓冲垫，所述真空室的顶部设有联轴器，所述联轴器的一端传动连接有活塞杆，所述联轴器的另一端连接有驱动气缸。本实用新型结构合理，使用简单，通过将镀膜装置设计为开口锅状，分别为第一镀膜锅和第二镀膜锅，在第二镀膜锅的一端连接有转轴，在转轴的一端连接有活塞杆,活塞杆和转轴使得第二镀膜锅慢慢的转动，从而增加了真空镀膜的效率和质量。 |
