一种大功率直流等离子体电源
基本信息
申请号 | CN201610340056.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106026702B | 公开(公告)日 | 2019-10-25 |
申请公布号 | CN106026702B | 申请公布日 | 2019-10-25 |
分类号 | H02M7/217 | 分类 | 发电、变电或配电; |
发明人 | 金国卫;许卫;张荣正;许勇 | 申请(专利权)人 | 黄山市金屹电源制造有限公司 |
代理机构 | 合肥天明专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 金凯 |
地址 | 245021 安徽省黄山市屯溪区奕棋乡博村102号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种大功率直流等离子体电源,包括n组串联的PSM模块、平波电感、第一电流测量模块和反馈控制保护系统,电网电压经真空断路器与整流变压器的输入端相连,整流变压器的输出端分别连接至每组PSM模块的输入端,n组串联的PSM模块的输出经平波电感连接至输出电极,所述第一电流测量模块安装在主回路母线上,所述反馈保护系统的输入端与第一电流测量模块相连,其输出端分别与PSM模块的控制端相连。本发明电源输出电压范围大,输出功率可达MW级,具有很好的动态特性、很短的反应时间,能快速响应等离子体负载的剧大扰动,具备很好的电流控制特性,保证了等离子体产品的质量。 |
