一种大功率直流等离子体电源

基本信息

申请号 CN201610340056.0 申请日 -
公开(公告)号 CN106026702B 公开(公告)日 2019-10-25
申请公布号 CN106026702B 申请公布日 2019-10-25
分类号 H02M7/217 分类 发电、变电或配电;
发明人 金国卫;许卫;张荣正;许勇 申请(专利权)人 黄山市金屹电源制造有限公司
代理机构 合肥天明专利事务所(普通合伙) 代理人 金凯
地址 245021 安徽省黄山市屯溪区奕棋乡博村102号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种大功率直流等离子体电源,包括n组串联的PSM模块、平波电感、第一电流测量模块和反馈控制保护系统,电网电压经真空断路器与整流变压器的输入端相连,整流变压器的输出端分别连接至每组PSM模块的输入端,n组串联的PSM模块的输出经平波电感连接至输出电极,所述第一电流测量模块安装在主回路母线上,所述反馈保护系统的输入端与第一电流测量模块相连,其输出端分别与PSM模块的控制端相连。本发明电源输出电压范围大,输出功率可达MW级,具有很好的动态特性、很短的反应时间,能快速响应等离子体负载的剧大扰动,具备很好的电流控制特性,保证了等离子体产品的质量。