一种蒸镀装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201910252176.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110029311B | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN110029311B | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘昕;江社明;仲海峰;习中革;李远鹏;张杰;邱肖盼;张子月;张启富 | 申请（专利权）人 | 北京钢研新冶工程设计有限公司 |
| 代理机构 | 北京天达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 丛洪杰;和欢庆 |
| 地址 | 100081北京市海淀区学院南路76号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种蒸镀装置及方法，属于真空蒸镀技术领域，解决了现有技术中蒸镀材料利用率低、镀层附着力小以及无法精确控制膜厚的问题。蒸镀装置，包括蒸镀腔、熔融单元、蒸气输送单元和喷射单元，从熔融腔至喷射腔方向，蒸气腔的横截面面积逐渐减小；喷嘴设有开口大小可调节的喷气口，喷气口用于向试样镀膜；蒸气腔顶部的横截面面积大于喷气口处的横截面面积。蒸镀方法包括：将待镀试样固定在第一移动部底部，根据待镀试样宽度调整喷气口长度；抽真空，设置移动部的移动速度；加热蒸镀材料；蒸镀；取出试样。本发明实现了对蒸镀材料的高效利用，并且提高了镀膜的致密性。 |
