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自动对焦方法及系统

基本信息

申请号 CN202011197383.8 申请日 -
公开（公告）号 CN112461853B 公开（公告）日 2021-07-27
申请公布号 CN112461853B 申请公布日 2021-07-27
分类号 G01N21/95（2006.01）I;H04N5/232（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 刘文强;曾胜;龚博;喻超凡;朱礼平 申请（专利权）人 珠海市奥德维科技有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 俞梁清
地址 519000广东省珠海市香洲区福田路10号厂房1一层-5
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种自动对焦方法及系统，其中自动对焦方法包括步骤：在拍摄机构的视野中设置边界特征区域A；拍摄机构和被测物相对移动，拍摄机构在相对移动的过程中对被测物进行拍摄获取图像，图像包含被测物区域B和边界特征区域A，记录拍摄时拍摄机构与被测物的相对位置信息；获取图像的清晰程度，判断清晰程度是否达到峰值；如果清晰程度达到峰值，则记录清晰程度达到峰值时对应的相对位置信息，完成对焦。本申请的自动对焦方法可实现晶圆检测过程中的自动对焦，提高对焦效率，并且能够避免出现无法判断是否对焦成功的问题。