一种真空电子器件真空除气设备
基本信息
| 申请号 | CN201721103139.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207250450U | 公开（公告）日 | 2018-04-17 |
| 申请公布号 | CN207250450U | 申请公布日 | 2018-04-17 |
| 分类号 | H01J9/385;H01J9/39 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘春华;蔡小华 | 申请（专利权）人 | 江西景光电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 333405 江西省景德镇市浮梁县兰田 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架和机械泵；所述支撑架上方设有电子管，电子管底部连接有可伐，可伐与电子管连通；所述可伐连通有陶瓷管，陶瓷管底部连通有可伐；所述可伐底部通过管道与超高真空阀连通，超高真空阀连通有冷阱；所述冷阱连通有扩散泵，扩散泵连通有机械泵。本实用新型通过设有真空烘烤罩，对电子管进行高效的双真空排气，排气效率更高，效果更好，同时使用真空烘干的方式，减少热量散失，节约能源。 |
