一种混合集成电路自动键合的通用载具

基本信息

申请号 CN202120222390.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214152862U 公开(公告)日 2021-09-07
申请公布号 CN214152862U 申请公布日 2021-09-07
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨前彪;勾文哲;王晓卫;刘颖潇;徐志美 申请(专利权)人 深圳市振华微电子有限公司
代理机构 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 代理人 张广兴
地址 518000广东省深圳市南山区高新技术工业村W1号厂房3层B1、2层B1区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出一种混合集成电路自动键合的通用载具,包括载具主体,所述载具主体上开设有若干相互平行的条形槽,通过在载具上进行开槽设计使多种产品可放入载具中,并且通过真空吸附孔的设计可固定底部平整的外壳,在载具上设计弹簧及弹簧槽进行定位。最终可在该载具上实现多种产品的固定,且更换产品种类时无需更换载具,提高生产效率。