一种混合集成电路自动键合的通用载具
基本信息
申请号 | CN202120222390.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214152862U | 公开(公告)日 | 2021-09-07 |
申请公布号 | CN214152862U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 杨前彪;勾文哲;王晓卫;刘颖潇;徐志美 | 申请(专利权)人 | 深圳市振华微电子有限公司 |
代理机构 | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张广兴 |
地址 | 518000广东省深圳市南山区高新技术工业村W1号厂房3层B1、2层B1区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提出一种混合集成电路自动键合的通用载具,包括载具主体,所述载具主体上开设有若干相互平行的条形槽,通过在载具上进行开槽设计使多种产品可放入载具中,并且通过真空吸附孔的设计可固定底部平整的外壳,在载具上设计弹簧及弹簧槽进行定位。最终可在该载具上实现多种产品的固定,且更换产品种类时无需更换载具,提高生产效率。 |
