可用于晶化和剥离的两用准分子激光系统
基本信息
| 申请号 | CN201710137706.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106654814A | 公开（公告）日 | 2017-05-10 |
| 申请公布号 | CN106654814A | 申请公布日 | 2017-05-10 |
| 分类号 | H01S3/00(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 游利兵;尹广玥;方晓东 | 申请（专利权）人 | 安徽中科艾克西玛光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 余成俊 |
| 地址 | 230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种可用于晶化和剥离的两用准分子激光系统，包括准分子激光器、衰减模块、光斑转换模块、导光臂、场镜、投影镜头、控制模块。本发明可用于晶化和剥离的，能在一套设备上实现晶化和剥离两种功能，可应用于显示研究和生产行业，特别是柔性有机发光二极管显示行业，并能大大降低晶化和剥离的生产费用。 |
