一种精密热氦检漏用电加热元件和检漏方法
基本信息
| 申请号 | CN202110472077.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113532759A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113532759A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G01M3/20（2006.01）I;H05B3/02（2006.01）I;H05B3/04（2006.01）I;H05B3/40（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谌继明;冷桢;段旭如;蒋世杰;王平怀;李泞;王焜;许敏;任元国;周毅;陈新 | 申请（专利权）人 | 成都国光电气股份有限公司 |
| 代理机构 | 核工业专利中心 | 代理人 | 董和煦 |
| 地址 | 610041四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于元器件技术领域，具体涉及一种精密热氦检漏用电加热元件和检漏方法。本发明中，电加热元件安装在加热棒套筒内部，加热棒套筒开口部设有电加热棒连接法兰，与内部的电加热棒连接；加热棒套筒的外壁上安装有套筒连接法兰，在电加热棒连接法兰与套筒连接法兰之间的加热棒套筒上，连接有三通接头，三通接头与加热棒套筒内部连通，另一端连接至氦气输入口；真空室底部开有通孔，通孔上设有与套筒连接法兰相配合的安装基础，加热棒套筒插入通孔内，通过套筒连接法兰与真空室固定安装。本发明能有效降低电加热元件高温下的漏率并能实现大型真空腔室内被检工件均匀高效升温的技术要求，满足大型真空腔室真空室加热系统的使用需求。 |
