一种透射电镜三维驱动原位样品杆

基本信息

申请号 CN202023339025.4 申请日 -
公开(公告)号 CN214252089U 公开(公告)日 2021-09-21
申请公布号 CN214252089U 申请公布日 2021-09-21
分类号 G01N23/04(2018.01)I;G01N23/20025(2018.01)I;H01J37/20(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 廖洪钢;兰李根 申请(专利权)人 厦门超新芯科技有限公司
代理机构 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 代理人 何家富
地址 361000福建省厦门市火炬高新区软件园创新大厦A区801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及透射电镜原位样品杆领域,公开了一种透射电镜三维驱动原位样品杆,包括手柄、电动粗调模块、固定杆、杆头和移动杆,所述固定杆为空心杆,其一端和所述手柄固定连接,另一端和所述杆头连接;所述移动杆位于所述固定杆内,其一端和所述电动粗调模块连接,另一端设置有样品接头;所述电动粗调模块设置于所述手柄的内部,用于在所述固定杆内对所述移动杆进行微米级精度的三维移动控制;所述杆头用于承载测试组件。本实用新型的透射电镜三维力电样品杆能够快速精确地将样品接头承载的样品移动到位,开展样品的原位检测。