一种透射电镜力电热原位样品杆
基本信息
申请号 | CN202011636775.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112834539A | 公开(公告)日 | 2021-05-25 |
申请公布号 | CN112834539A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
分类号 | G01N23/2204;G01N23/04;G01Q30/20;H01J37/20 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 廖洪钢;兰李根 | 申请(专利权)人 | 厦门超新芯科技有限公司 |
代理机构 | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 何家富 |
地址 | 361000 福建省厦门市火炬高新区软件园创新大厦A区801 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及透射电镜原位样品杆领域,公开了一种透射电镜力电热原位样品杆,包括手柄、杆身、移动杆和杆头,所述杆头上设置有:力学探针、力学芯片;所述力学探针和所述样品接头接近设置,所述力学探针和所述样品接头配合,用于对样品进行挤压、加电;所述力学芯片和所述力学探针固定连接,用于给探针加电及测量来自所述力学探针的力反馈信号;所述样品接头设置有:电加热器件,所述电加热器件用于加热样品接头,改变样品接头区域微环境的温度;同时所述样品接头能够被加电,配合加电的力学探针使用:给样品加电。通过本发明原位样品杆可直接施加力、电、热环境,简化原位测试的实验操作过程。 |
