一种透射电镜力电热原位样品杆

基本信息

申请号 CN202011636775.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112834539A 公开(公告)日 2021-05-25
申请公布号 CN112834539A 申请公布日 2021-05-25
分类号 G01N23/2204;G01N23/04;G01Q30/20;H01J37/20 分类 测量;测试;
发明人 廖洪钢;兰李根 申请(专利权)人 厦门超新芯科技有限公司
代理机构 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 代理人 何家富
地址 361000 福建省厦门市火炬高新区软件园创新大厦A区801
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及透射电镜原位样品杆领域,公开了一种透射电镜力电热原位样品杆,包括手柄、杆身、移动杆和杆头,所述杆头上设置有:力学探针、力学芯片;所述力学探针和所述样品接头接近设置,所述力学探针和所述样品接头配合,用于对样品进行挤压、加电;所述力学芯片和所述力学探针固定连接,用于给探针加电及测量来自所述力学探针的力反馈信号;所述样品接头设置有:电加热器件,所述电加热器件用于加热样品接头,改变样品接头区域微环境的温度;同时所述样品接头能够被加电,配合加电的力学探针使用:给样品加电。通过本发明原位样品杆可直接施加力、电、热环境,简化原位测试的实验操作过程。