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一种扫描电镜冷冻样品台

基本信息

申请号 CN202023325319.1 申请日 -
公开（公告）号 CN214252099U 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN214252099U 申请公布日 2021-09-21
分类号 G01N23/2251（2018.01）I;G01N23/2204（2018.01）I;H01J37/20（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 廖洪钢;兰李根 申请（专利权）人 厦门超新芯科技有限公司
代理机构 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 代理人 何家富
地址 361000福建省厦门市火炬高新区软件园创新大厦A区801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种扫描电镜冷冻样品台，包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。本实用新型的扫描电镜冷冻样品台，利用半导体制冷片的制冷作用，通过合理的结构设计，使之小型化，使得所述冷冻样品台能被放置于扫描电镜下方，对样品提供直接冷冻，且能提供低于‑60℃的低温，以满足样品的低温要求及简化实验操作。