一种多晶硅反应炉清洗装置

基本信息

申请号 CN201110370440.2 申请日 -
公开(公告)号 CN103121025A 公开(公告)日 2013-05-29
申请公布号 CN103121025A 申请公布日 2013-05-29
分类号 B08B9/08(2006.01)I;B08B9/087(2006.01)I;B08B9/093(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 李川川 申请(专利权)人 常州市万阳光伏有限公司
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 代理人 张利强
地址 213115 江苏省常州市武进区郑陆镇三河口处延陵村140号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种全棉面料多晶硅反应炉清洗装置,包括:圆盘形承接盘、贯通口、排液口、喷嘴装置、活动装置、洗刷装置,所述承接盘水平设置在反应炉内,所述贯通口沿铅直方向设置在承接盘的中央部,承接盘一侧设置有排液口,承接盘的外周部设有凸缘部,所述贯通口一端连接有轴,所述轴端部设置有喷嘴装置及洗刷装置,所述洗刷装置与轴之间通过活动装置连接。本发明可无遗漏地将清洗水直接喷到反应炉内壁面的整个区域,通过清洗装置有效并完全去除附着物,该多晶硅反应炉清洗装置高效率且可靠。