一种多晶硅锭制造装置
基本信息
| 申请号 | CN201110370448.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103122476A | 公开（公告）日 | 2013-05-29 |
| 申请公布号 | CN103122476A | 申请公布日 | 2013-05-29 |
| 分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李川川 | 申请（专利权）人 | 常州市万阳光伏有限公司 |
| 代理机构 | 苏州广正知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张利强 |
| 地址 | 213115 江苏省常州市武进区郑陆镇三河口处延陵村140号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶硅锭制造装置，包括坩埚、支撑板、加热器、冷却板、隔热板、高纯石英玻璃层、温度传感器，所述坩埚固定在支撑板上，所述加热器设在坩埚周围，所述隔热板设在加热器周围，加热器内壁设有温度传感器，冷却板位于坩埚下部，高纯石英玻璃层设置在坩埚内壁。本发明多晶硅锭制造装置能有效的控制加热温度以及加热时间，显著提高多晶硅锭晶粒的定向性，生产出的硅锭性能较佳。 |
