多晶硅生长过程中的保温结构
基本信息
| 申请号 | CN201110370453.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103122480A | 公开（公告）日 | 2013-05-29 |
| 申请公布号 | CN103122480A | 申请公布日 | 2013-05-29 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李川川 | 申请（专利权）人 | 常州市万阳光伏有限公司 |
| 代理机构 | 苏州广正知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张利强 |
| 地址 | 213115 江苏省常州市武进区郑陆镇三河口处延陵村140号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶硅生长过程中的保温结构，包括：坩埚、发热器和位于坩埚外侧的隔热笼，所述隔热笼包括隔热顶板、隔热侧板和隔热底板，所述隔热侧板为三层结构，包括外层的莫来石纤维板、中间层的耐高温碳/碳复合板，内层的承烧板。通过上述方式，本发明能够减少现有保温板长时间高温烘烤导致的掉粉现象，提升隔热笼内部的保温性能，可有效提高硅锭质量，减少硅锭碳含量和阴影，从而总体实现了延长设备的使用寿命，提高产品质量，节能降耗、降低生产成本。 |
