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用于多晶硅锭制备的组合坩埚

基本信息

申请号 CN201110370450.6 申请日 -
公开（公告）号 CN103122479A 公开（公告）日 2013-05-29
申请公布号 CN103122479A 申请公布日 2013-05-29
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李川川 申请（专利权）人 常州市万阳光伏有限公司
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 代理人 张利强
地址 213115 江苏省常州市武进区郑陆镇三河口处延陵村140号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于多晶硅锭制备的组合坩埚，包括：石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚，所述石英坩埚包括石英坩埚基体、中间过渡层、第二中间层和内表面涂层，所述石英坩埚基体内壁设置有中间过渡层，所述中间过渡层上设有第二中间层，所述第二中间层上设有内表面涂层，所述石墨坩埚包括底板和设置在底板四周的侧板，所述底板具有网状结构。通过上述方式，本发明中石英坩埚内表面采用复合涂层，增强了涂层附着力，提高了石英坩埚抗高温能力，能够降低涂层材料成本，还能够确保在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢出时，都能够及时引导硅液的流向，即引导硅液从底板的网络状结构的空隙处流下，从而能够及时报警。