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多晶硅铸锭装置

基本信息

申请号 CN201110370471.8 申请日 -
公开（公告）号 CN103122477A 公开（公告）日 2013-05-29
申请公布号 CN103122477A 申请公布日 2013-05-29
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李川川 申请（专利权）人 常州市万阳光伏有限公司
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 代理人 张利强
地址 213115 江苏省常州市武进区郑陆镇三河口处延陵村140号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多晶硅铸锭装置，包括：炉体和支架，所述支架上设有与炉体相连的液压缸，所述炉体内设置有坩埚，所述坩埚外侧设有石墨坩埚，所述石墨坩埚外侧四周设有加热器，所述石墨坩埚下方设有石墨冷却块，所述坩埚四周设有隔热笼，所述炉体底部设有支撑柱，所述支撑柱穿过隔热笼支撑在石墨冷却块底部，所述炉体顶部设有炉腔过温保护热电偶和坩埚控温测量热电偶。通过上述方式，本发明能够简化炉体结构，增加提纯和晶体生长效果，具有运动轻巧平稳，工艺可靠，操作简单的特点，可同时检测炉腔内和隔热笼内的温度，提高了多晶硅铸锭装置的可靠性能。