多晶硅铸锭炉用坩埚组件

基本信息

申请号 CN201110370455.9 申请日 -
公开(公告)号 CN103122481A 公开(公告)日 2013-05-29
申请公布号 CN103122481A 申请公布日 2013-05-29
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李川川 申请(专利权)人 常州市万阳光伏有限公司
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 代理人 张利强
地址 213115 江苏省常州市武进区郑陆镇三河口处延陵村140号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉用坩埚组件,包括:石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚,所述石墨坩埚包括底板和底板四周的侧板,所述底板具有网状结构,所述石墨坩埚外侧下部设有保温层,所述保温层外侧设置有薄板。通过上述方式,本发明能够在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢出时,及时引导硅液的流向,从而能及时报警,另外通过增强石墨坩埚下部保温效果,还能有效地提高多晶硅铸锭炉多晶硅锭成晶率和内在品质,结构设计合理。