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一种多晶硅反应炉清洗装置

基本信息

申请号 CN201120463009.8 申请日 -
公开（公告）号 CN202447334U 公开（公告）日 2012-09-26
申请公布号 CN202447334U 申请公布日 2012-09-26
分类号 B08B9/08(2006.01)I;B08B9/087(2006.01)I;B08B9/093(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 李川川 申请（专利权）人 常州市万阳光伏有限公司
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 代理人 张利强
地址 213115 江苏省常州市武进区郑陆镇三河口处延陵村140号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅反应炉清洗装置，包括：圆盘形承接盘、贯通口、排液口、喷嘴装置、活动装置、洗刷装置，所述承接盘水平设置在反应炉内，所述贯通口沿铅直方向设置在承接盘的中央部，承接盘一侧设置有排液口，承接盘的外周部设有凸缘部，所述贯通口一端连接有轴，所述轴端部设置有喷嘴装置及洗刷装置，所述洗刷装置与轴之间通过活动装置连接。本实用新型可无遗漏地将清洗水直接喷到反应炉内壁面的整个区域，通过清洗装置有效并完全去除附着物，该多晶硅反应炉清洗装置高效率且可靠。