一种纳米晶非晶复合涂层及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110219879.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113025979A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113025979A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;B82Y30/00;B82Y40/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄晓林;赵文涛;李景斌;孙亮 | 申请（专利权）人 | 沈阳三聚凯特催化剂有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周淑歌 |
| 地址 | 110144 辽宁省沈阳市经济技术开发区细河八北街10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于切削刀具加工制造技术领域，具体涉及一种纳米晶非晶复合涂层及其制备方法。本发明利用增强磁控溅射技术，制备具有纳米晶和非晶复合的AlCrSiCN涂层，该复合涂层由粒径10～50nm尺度的纳米晶和围绕纳米晶分布的非晶相构成，因此纳米尺度的晶粒保证涂层具有足够的硬度，而非晶层则具有良好的塑性，且大量的纳米晶与非晶界面可增加微裂纹扩展的阻力，故涂层具有高硬度（28～35GPa）、高韧性和优异的耐磨性能，并保持AlCrN的优异抗高温性能，使涂层具有优良的强度和结合强度，同时Si、C的掺杂一方面细化晶粒，提高强度，另一方面所形成的碳化物非晶层可进一步降低刀具的摩擦系数，降低刀具摩擦阻力。 |
