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一种基于机器视觉的晶圆缺口检测装置

基本信息

申请号 CN202021938106.3 申请日 -
公开（公告）号 CN213424931U 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN213424931U 申请公布日 2021-06-11
分类号 H01L21/66（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 刘加美;曹芳;刘俊呈 申请（专利权）人 南京禅生半导体科技有限公司
代理机构 上海汇齐专利代理事务所（普通合伙） 代理人 朱明福
地址 211805江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢446
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆检测技术领域，公开了一种基于机器视觉的晶圆缺口检测装置，包括遮光箱体，遮光箱体的前端面上开设有晶圆传输口，晶圆传输口上通过设置铰链铰接有遮光盖板，遮光箱体内设置有晶圆承载平台，晶圆承载平台上方设置有装夹机构，装夹机构上接有连接轴的一端，连接轴的另一端自遮光箱体的顶壁向外穿出，连接轴穿出的端部上接有转动机构，遮光箱体底部内壁上设置有处于晶圆本体缺口设定位置正下方的CCD传感器，遮光箱体的顶部外壁上设置有处于晶圆本体缺口设定位置正上方的激光发生器，激光发生器的发射端呈竖直向下穿入遮光箱体内部设置；本实用新型具有排除干扰、检测准确的特点。