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一种用于晶圆加工的轴心定位装置

基本信息

申请号 CN202021938108.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213424962U 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN213424962U 申请公布日 2021-06-11
分类号 H01L21/68（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 刘加美;曹芳;刘俊呈 申请（专利权）人 南京禅生半导体科技有限公司
代理机构 上海汇齐专利代理事务所（普通合伙） 代理人 朱明福
地址 211805江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢446
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种用于晶圆加工的轴心定位装置，包括载片台，载片台上开设有以载片台的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的至少三条滑槽，滑槽内均滑动连接有滑块，滑块的顶部上均设有定位块；载片台内部设有以载片台的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的第一锥齿轮，第一锥齿轮的齿座部均接有呈水平设置的丝杠，丝杠一端与第一锥齿轮的齿座部固接在一起，另一端与载片台的内侧壁转动连接在一起，丝杠上均设有丝杠螺母和连接块，连接块的顶部与其所在丝杠对应的滑槽内接有的滑块的底部固接在一起，第一锥齿轮上均接有用于带动所有第一锥齿轮运动的传动组件；本实用新型具有定位准确、花费时间短、工作效率高的特点。