单硅晶片生产用甩干装置

基本信息

申请号 CN202020218832.1 申请日 -
公开(公告)号 CN212030032U 公开(公告)日 2020-11-27
申请公布号 CN212030032U 申请公布日 2020-11-27
分类号 F26B5/08(2006.01)I 分类 干燥;
发明人 沈培琴 申请(专利权)人 浙江贝盛新材料科技有限公司
代理机构 北京艾皮专利代理有限公司 代理人 马小辉
地址 313000浙江省湖州市吴兴区织里镇珍贝路800号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了单硅晶片生产用甩干装置,包括甩干装置壳体、控制箱、旋转甩干机构、热吹风机构,所述甩干装置壳体右侧设置有所述控制箱,所述甩干装置壳体内部设置有所述旋转甩干机构,所述旋转甩干机构上部设置有所述热吹风机构。有益效果在于:通过所述甩干装置壳体实现装置的密封,提高甩干装置的密封性,通过所述旋转甩干机构和所述热吹风机构实现对单硅晶片的甩干,通过干燥的质量和干燥速度,保证干燥过程的清洁度。