单硅晶片生产用甩干装置
基本信息
申请号 | CN202020218832.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212030032U | 公开(公告)日 | 2020-11-27 |
申请公布号 | CN212030032U | 申请公布日 | 2020-11-27 |
分类号 | F26B5/08(2006.01)I | 分类 | 干燥; |
发明人 | 沈培琴 | 申请(专利权)人 | 浙江贝盛新材料科技有限公司 |
代理机构 | 北京艾皮专利代理有限公司 | 代理人 | 马小辉 |
地址 | 313000浙江省湖州市吴兴区织里镇珍贝路800号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了单硅晶片生产用甩干装置,包括甩干装置壳体、控制箱、旋转甩干机构、热吹风机构,所述甩干装置壳体右侧设置有所述控制箱,所述甩干装置壳体内部设置有所述旋转甩干机构,所述旋转甩干机构上部设置有所述热吹风机构。有益效果在于:通过所述甩干装置壳体实现装置的密封,提高甩干装置的密封性,通过所述旋转甩干机构和所述热吹风机构实现对单硅晶片的甩干,通过干燥的质量和干燥速度,保证干燥过程的清洁度。 |
