一种在OCD测量中用于筛选波段的方法和装置
基本信息
| 申请号 | CN201410042262.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104807398B | 公开（公告）日 | 2018-06-05 |
| 申请公布号 | CN104807398B | 申请公布日 | 2018-06-05 |
| 分类号 | G01B11/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王鑫;张振生;施耀明;徐益平 | 申请（专利权）人 | 上海兴橙投资管理有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区华佗路68号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种在OCD测量中用于筛选波段的方法，其中，该方法包括以下步骤：a）对于待测结构模型的多个结构参数中的每个结构参数，根据由该结构参数变化而造成相应的光谱上每个波长点的光谱信号偏移量，确定该结构参数在所述每个波长点处的灵敏度；b）根据所述多个结构参数分别在其每个波长点处的灵敏度，筛选一个或多个光谱波段；c)根据筛选出的光谱波段，实现测量光谱与理论光谱数据库的匹配。根据本实施例的方法，可以提高OCD参数测量的信噪比和准确性。 |
