一种在处理机台上生成用于定位晶圆的制程的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310548035.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104637781B | 公开（公告）日 | 2018-08-21 |
| 申请公布号 | CN104637781B | 申请公布日 | 2018-08-21 |
| 分类号 | H01L21/02;G06F17/50 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周坚 | 申请（专利权）人 | 上海兴橙投资管理有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种在处理机台上生成用于定位晶圆的制程的方法，包括如下步骤：I.导入待测晶圆；II.设定至少两个定位单元，其中i在所述晶圆上选定特征性图形区域；ii在所述特征性图形区域中确定至少两个特征点；iii记录所述每个特征点的坐标；III.把所述定位单元的数据保存至所述制程中，所述定位单元的数据包括所述特征性图形区域和所述每个特征点的坐标；其中，制程中每一个定位单元所选定的图形区域不一样；本发明还提供了一种用处理机台在制程中增加定位单元的方法，以及一种使用上述制程在处理机台上来实现定位晶圆的方法。 |
