一种适合表面贴装工艺的压阻式加速度传感器及其制造方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种适合表面贴装工艺的压阻式加速度传感器及其制造方法

基本信息

申请号	CN201710429714.8	申请日	-
公开（公告）号	CN107265397B	公开（公告）日	2020-01-03
申请公布号	CN107265397B	申请公布日	2020-01-03
分类号	B81C1/00;G01P15/00	分类	微观结构技术〔7〕;
发明人	周志健;朱二辉;于洋;陈磊;杨力建;邝国华	申请（专利权）人	广东合微集成电路技术有限公司
代理机构	广东莞信律师事务所	代理人	广东合微集成电路技术有限公司
地址	523808 广东省东莞市松山湖新竹路总部一号6栋5楼
法律状态	-

摘要

本发明涉及适合表面贴装工艺的压阻式加速度传感器及其制造方法。使用的晶圆结构包括衬底层、顶层、绝缘层及在衬底层内与绝缘层界面位置设有空腔；顶层和衬底层为反相掺杂；衬底层上设有电隔离沟槽；被电隔离沟槽包围的衬底层下面的绝缘层上设有金属引脚；在顶层上形成有加速度传感器的压阻条、电学引线区；电学引线区与压阻条部分及电隔离沟槽包围的衬底部分重合；在电学引线区和电隔离沟槽包围的衬底部分重合区设有电连接通道；顶层表面的绝缘层、顶层及绝缘层设有释放槽，形成加速度传感器的可动结构，键合保护盖板，形成密封空腔。本发明的压阻式加速度传感器便于后续与相应控制电路(IC)实现三维(3D)封装，工艺简单，加工工艺先后顺序灵活，成本低。