一种含有自检测功能的多轴压阻式加速度传感器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201610589586.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106199072B | 公开（公告）日 | 2019-10-18 |
| 申请公布号 | CN106199072B | 申请公布日 | 2019-10-18 |
| 分类号 | G01P15/18;G01P15/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华 | 申请（专利权）人 | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 代理机构 | 广东莞信律师事务所 | 代理人 | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑6幢办公501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种含有自检测功能的多轴压阻式加速度传感器，基于SOI晶圆，所述的SOI晶圆依次设置有衬底、中间氧化层、器件层，包括至少一个含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器和至少一个含有自检测功能的面外压阻式加速度传感器，在至少一个面内加速度传感器的部分悬臂梁侧壁形成压阻条，部分悬臂梁侧壁形成自检测电极。本发明还提供了一种含有自检测功能的多轴压阻式加速度传感器的制作方法，实现可以进行晶圆级自检测的多轴压阻式加速度传感器的结构与加工工艺。 |
