MEMS谐振器的温度补偿方法及装置、MEMS振荡器专利查询专利号|摘要-满商公司网

MEMS谐振器的温度补偿方法及装置、MEMS振荡器

基本信息

申请号	CN201910165172.7	申请日	-
公开（公告）号	CN109921760A	公开（公告）日	2019-06-21
申请公布号	CN109921760A	申请公布日	2019-06-21
分类号	H03H9/24（2006.01）I	分类	基本电子电路;
发明人	许国辉; 邝国华	申请（专利权）人	广东合微集成电路技术有限公司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	广东合微集成电路技术有限公司
地址	523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑6幢办公501
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种MEMS谐振器的温度补偿方法及装置、MEMS振荡器。该温度补偿方法包括：获取温度常数和温度项系数，所述温度常数和所述温度项系数均与所述MEMS谐振器的模型参数关联；获取所述MEMS谐振器的温度；根据所述温度常数、所述温度项系数和所述MEMS谐振器的温度，确定所述MEMS谐振器的温度补偿电压。与现有技术相比，本发明实施例无需设置PLL，因此，本发明实施例可以使MEMS振荡器的运作频率大大降低。若MCU运作在MHz的频率量级，可以将MEMS振荡器的功耗控制在十毫安以下，使得MEMS振荡器在同样的参数表现下，达到更低的功耗与热性能要求，解决了现有的MEMS谐振器的温度补偿方法存在的功耗较大的问题。