一种芯片对准键合结构

基本信息

申请号 CN202020594888.7 申请日 -
公开(公告)号 CN211654779U 公开(公告)日 2020-10-09
申请公布号 CN211654779U 申请公布日 2020-10-09
分类号 H01L21/67;H01L21/60 分类 基本电气元件;
发明人 张磊;李宗兵 申请(专利权)人 南京志行聚能科技有限责任公司
代理机构 南京鸿越知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘娟娟
地址 210000 江苏省南京市浦口区大余所路5号1号楼4楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及芯片键合技术领域,且公开了一种芯片对准键合结构,包括底板,所述底板底部的左右两侧均固定安装有支脚,所述底板内腔的顶部固定安装有限位杆。该芯片对准键合结构,通过设置驱动电机,当需要对芯片进行键合处理时,首先将芯片本体以及金属引板置入放置台内,接着启动驱动电机,使螺杆转动,活动套杆受其螺纹推力而左右移动,即可带动放置台左右移动,使放置台调整至热压头处并与其吻合,接着启动左右两个气缸,通过推动推动板使热压头下移,当热压头下压金属引板时,金属引板预热并与芯片本体快速吻合,从而实现芯片的键合工序,整个键合过程非常的简洁高效,大大提高了其工作效率,更满足人们生产的需求。