一种铜栅线异质结太阳电池的生产集成设备及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111372324.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114242834A | 公开（公告）日 | 2022-03-25 |
| 申请公布号 | CN114242834A | 申请公布日 | 2022-03-25 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0747（2012.01）I;H01L31/0224（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王伟;赵晓霞;田宏波;王雪松;王彩霞;宗军;孙金华;范霁红 | 申请（专利权）人 | 国家电投集团新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 单冠飞 |
| 地址 | 102209 北京市昌平区未来科技城国家电投集团科学技术研究院有限公司院内A座8层至11层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供了一种铜栅线异质结太阳电池的生产集成设备，包括光注入模块和磁控溅射镀膜设备；其中磁控溅射镀膜设备包括上下游依次设置的制程前室、制程室和制程后室；其中制程前室对待镀膜的样品预热；制程室对预热后的待镀膜的样品镀膜；制程后室将镀膜后的样品冷却；光注入模块设置在制程前室内用于对待镀膜的样品进行光注入处理。本发明的实施例将光注入模块集成到磁控溅射设备的某些非镀膜腔室中，在铜栅线异质结太阳电池进行磁控溅射沉积TCO薄膜及金属薄膜前完成光注入处理，有效解决了铜栅线异质结太阳电池的光注入增效与焊接可靠性之间的矛盾。 |
