BPMA的分区聚焦测量方法
基本信息
| 申请号 | CN201810842815.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109100382B | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN109100382B | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | G01N23/2202(2018.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 应平;周俊武;罗仙平;赵建军;王清;王庆凯;温利刚;贾木欣 | 申请（专利权）人 | 青海西部矿业工程技术研究有限公司 |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址 | 100160北京市丰台区南四环西路188号总部基地十八区23号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种BPMA的分区聚焦测量方法，在样品有效测量范围划分出9个或21个分区，分别在每个分区的中心分别聚焦，记录每个分区的电镜条件；聚焦完成后，BPMA软件开始样品测量，根据不同分区的不同的电镜条件依次测量每分区，所述电镜条件包括电镜的工作距离；多个分区测量均完成后，保存一个测量数据文件。采用在一个样品的测量面上分区聚焦测量的方法解决样品轻度倾斜的问题。 |
