一种磁控溅射膜上/下膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202021196188.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212559317U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212559317U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | B66F7/18(2006.01)I;B66F7/28(2006.01)I | 分类 | 卷扬；提升；牵引; |
| 发明人 | 王兆甫;朱飞鹏;王龙 | 申请（专利权）人 | 江苏日久光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州科仁专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 郭杨 |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市周庄镇锦周公路509号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种磁控溅射膜上/下膜装置，包括轨道、划设于轨道上的滑动座、固定在滑动座上的立架、用于固定磁控溅射膜的磁控溅射膜支撑架及连接驱动磁控溅射膜上下活动的升降驱动机构；所述升降驱动机构为固定在所述滑动座上的顶部与所述磁控溅射膜支撑架相抵的千斤顶，并且所述立架与磁控溅射膜支撑架之间设有导向限位机构。所述千斤顶通过千斤顶底座固定在滑动座上，通过远程遥控电动液压千斤顶，以驱动磁控溅射支撑架通过导向限位机构带动膜材料升/降来完成上/下膜。千斤顶升/降速度相比卷扬机要快，可以提高效率；加装扶手，提高操作人员的自身安全；降低在产品在搬运过程中由于支撑架的滑落，造成产品直接落地砸坏的风险。 |
